发布时间：2022/03/08 浏览量：4533

君睿科技提供AMAT P5000 设备的保养维修和调机

                                             

君睿科技提供美国应用材料 P5000 等离子增强 CVD（PECVD）机台系列设备的维护、修理服务。该设备是世界上第一台成功地以单晶片、多反应室理念而设计成的量产及研发均适用的半导体制程设备，6 寸 8 寸设备共用相同的主机构架。

一、浅谈PETEOS 打火异常分析及处理方法：

其中 PETEOS 工艺是PECVD 中的一种用作金属间的介质层工艺，材料源（TEOS,O2）以气体形式进入真空工艺腔体内，在一定真空压力和 RF 加功率的情况下，反应气体 (TEOS,O2) 从辉光放电（Plasma：等离子场）中获得激活能，激活并增强化学反应，从而实现 化 学 气 象淀 积。（TEOS+O2——plasma、heat、pressure——SiO2（H）+volatiles）。

Plasma 也可被用于清洗腔体。（C2F6 +SiO2——plasma、heat、pressure——SiF（volatile+CO2（volatile）+others volatiles）。

在生产过程中 TEOS 打火发花严重影响了产品良率和备件寿命。这个问题，需要我们的p5000设备维护工程师进行排查，找到原因，通过压力控制、修改清洗流程、校准RF Power等方面，进行改善。

比如如果是因为压力、气体流量和功率因素导致气流不均匀引起打火， 我们正常从三个方面给予分析处理:

1.如果发现压力不稳定，导致气流不均匀，当加Plasma会局部打火。这种现象发生时，就需要定期校准Throttle valve ,换截止阀O-RING和SLIT Oring . 监测MKS压力计的压力稳定性。

2.CVD 工艺气体从气体管道通过 cvg 组件→ gas box 孔→ blocker →showerhead 气 体 喷 射 到 圆 片 表 面。 如 果blocker 和 showerhead 哪个孔异常，会导致气流不均，当加Plasma 时引起备件和圆片局部打火。如果是这个因素导致，就需要我们调整清洗菜单压力、流量，可以改善gas box,showerhead、susceptor 表面的清洗，达到防止过清洗和清洗不均匀的目的，预防了showerhead 和 blocker之间由于颗粒原因引起的打火；

3.RF POWER 过 大 或 不 稳，会 影 响 淀 积 和 刻 蚀 均 匀性。我们工程师会校准 RF POWER，确认设定值与实际值一致。通过检查，使得RF Generator 的 负 载电 阻 稳 定 在 50 欧 姆。

如果是工艺腔体备件脏污和水路脏污，我们也会从以下2方面处理解决。

一方面，当腔体chamber body 脏污、lift hoop 及螺丝生锈产生的颗粒 以及 pump plate 脏污影响抽速导致压力异常。通过打磨CHAMBER BODY、更换螺丝、lift hoop 和pump plate 精密清洗来改善；

另一方面，热交换器里面水脏了，导致CVG电阻增大，也会影响气流导致打火 。这里通过更换DI Tank、滤芯等进行改善热交换器电阻值。

二、 P5000 腔体内传片故障浅析：

当p5000 CVD 设备经长时间使用后，会产生传片故障。这种传片问题一般是由于Transfer system 引起。在Transfer system 中，由于它需要robot 、cassatle 、elevator 、suspector and lift pin 五种部件的密切配合，如果有些零配件本身因服务年限磨损等老化，间隙配合不好等，需要定期排查和修复。比如:

1. 如果suspector head 和 suspector arm 固定不紧，在传片过中会出现上下摆动 ，导致传片位置错误 ；

这种情况，需要排查head 和 arm 的固定 ，如有必要，更换新的suspector.

2. 如果lift hoop 在传片过程中处于抖动状态，可能将圆片放置于robor arm 上，并带出腔体的风险；

这种情况，需要检查lift motor 电源是否接触不良,重新接插排除。

3. 如果lift pin 水平不好，需要调整；如果调整后没有明显改善，需要通过垫片来调整。

4. 如果 robot rotation 和 extension encode error 报警，需要观察查明原因并解决 。

这张情况，如果是robot extension 或者 robot motor 故障引起，就需要更换motor ; 如果是motor cable 、J1 J2 cable 引起的，就更换cable。

 如您有此类相关需要，欢迎联系君睿科技工程师服务。

三、P5000 设备死机原因浅析 ：

如果使用过程中，P5000 CVD 设备死机，需要对出现的死机代码进行排查。 具体死机代码和排查方法，欢迎联系我们。

在p5000 CVD 查看最后一次死机信息的方法如下：

1. 在主机界面用光笔点击service , 

2. 在service 下拉菜单，选择diagnostics 菜单 ；

3. 在 diagnostics 下拉菜单，选择 last exception report 查找死机代码 exception number 进行分析。

如果经过分析一时不能解决，可以看看接地、硬盘、电源和软件等方面再逐一排查。

如果您的p5000设备的保养维修需求是以上原因或者其它方面的问题需要我们协助，欢迎联系我们！我们专业的p5000 资深设备维修工程师拥有十多年一线设备维修维护保养的处理经验，君睿科技有多年CVD p5000 设备维修改造服务的业绩和经验，您有任何关于CVD p5000 设备维护 腔体更换、部件精密清洗、各种冷泵、干泵的维修和泵零部件更换等需求，欢迎与我们联系！

以下列出我司重点OEM 的 P5000 零配件： 

PART NUMBER	DESCRIPTION	标题	品牌 BRAND
0020-30797	shower head	PLATE PERF 200 GIANT NITRIDE	Applied Materials
0020-90213	blocker	BLOCKER PLATE SILANCE 200MM	Applied Materials
0020-10117	shower head	PLATE PERF 200MM TEOS	Applied Materials
0020-32036	blocker	BLOCKER PLATE  200MM	Applied Materials
0020-30086	shower head	PLATE PERF 150MM NITRIDE	Applied Materials
0020-30580	blocker	BLOCK PLATE 150MM NITRIDE	Applied Materials
0020-10771	shower head	PLATE PERF 150MM OXIDE	Applied Materials
0020-30447	blocker	BLOCKER PLATE SIN	Applied Materials
0020-10119	shower head	plate perfect 100-150mm	Applied Materials
0020-09316	blocker	blocker plate 150mm	Applied Materials
0020-10122	shower head	plate perf 125mm oxide	Applied Materials

其它详细p5000 零配件需求，可到我司官网搜索查询。

各种P5000 线路板 链接 https://www.junr.com.cn/v/list/id/87.html

各种 p5000 阀门产品链接 https://www.junr.com.cn/v/list/id/88.html

其它各种p5000 零部件 ，包含石英件 、金属件腔体部件、汞灯、robort arm、light pen 等，参考链接 https://www.junr.com.cn/v/list/id/89.html